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      【百家大講堂】中國工程院院士吳漢明作“中國芯”制造面臨挑戰和機會的主題報告


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      12月14日下午,由北京理工大學主辦、信息與電子學院和校科協共同承辦的北理工“百家大講堂”(第339期)在信息科學實驗樓202報告廳舉行。中國工程院院士吳漢明應邀作了“中國芯”制造面臨挑戰和機會的精彩報告。信息與電子學院、校科協負責人及師生共200多人參加了本次報告會。講座由信息與電子學院副院長陳禾主持。

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      副校長龍騰為吳漢明院士頒發了北理工“百家大講堂”紀念證書。

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      吳漢明院士首先介紹了芯片制造的主要工藝流程,隨后從摩爾定律出發,分析了芯片代工技術的發展歷程和面臨的三大挑戰,著重闡述了先進光刻工藝技術的原理和成套工藝技術能力的重要性。最后,他講解了后摩爾時代的特征和技術發展方向以及我國芯片制造產業的機遇和發展思路。

      吳漢明系統講解了我國集成電路產業的大背景、瓶頸、技術方法以及未來發展方向,更讓大家感受到了科學家執著的探索精神和深厚的科學造詣。同時,也深刻地認識到了在目前復雜的國際形勢下,我國集成電路領域面臨的多重挑戰。


      【主講人簡介】

      吳漢明,中國工程院院士,浙江大學微納電子學院院長。芯創智(北京)微電子有限公司董事長。

      吳漢明院士,1976年畢業于中國科學技術大學;1987年畢業于中國科學院力學研究所,獲博士學位。曾在美國UC-Berkeley進行博士后研究,并先后入職Intel、中芯國際等公司作為技術骨干從事集成電路制造工藝研發,曾任中芯國際研發副總裁。

      吳漢明院士長期工作在我國集成電路產業鏈重要環節,并作出突出貢獻。主持、指導了包括國家重大專項的0.13微米至14納米七代芯片工藝研發,負責攻克了包括刻蝕等一系列關鍵工藝難點,工藝集成后實現產業化。突破了長期以來我國高端芯片工藝完全依賴進口的制約,與世界水平差距明顯縮小。負責我國首臺刻蝕機研發項目的理論工作,并成功產業化。建立的非平衡低溫等離子體混合模型/整體模型成為工藝理論依據,并作為教案被世界著名大學公開發行的教科書采用。發表著作論文116篇。授權發明專利67項。曾獲得“北京學者”“十佳全國優秀科技工作者” 和“全國杰出專業技術人才”等榮譽。作為主要成員,三次獲國家科技二等獎,多次獲省部科技獎。


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